Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком
Савенко Алексей Юрьевич. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Савенко Алексей Юрьевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2008.- 105 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/785
