Введение
ГЛАВА 1 Обзор литературы 13
1.1 Основные физические свойства карбида кремния із
1.2 Технология получения объемных кристаллов и эпитаксиальных слоев карбида кремния
1.2.1. Получение эпитаксиальных слоев карбида кремния методом сублимации в открытой ростовой системе 20
1.2.2. Метод химического осаждения карбида кремния из газовой фазы... 24
1.3 Основные легирующие примеси в карбиде кремния 26
1.4 Собственные и радиационные дефекты в карбиде кремния
1.4.1. Собственные и радиационные дефекты в в 6Н политипе карбиде кремния зі
1.4.2. Собственные и радиационные дефекты в в 4Н политипе карбиде кремния 36
ГЛАВА 2 Радиационное дефекто образование в карбиде кремния после облучения его протонами и электронами 41
2.1.Методика эксперимента 41
2.1.1. Физические основы использованных экспериментальных методов 43
2.1.2. Нестационарная емкостная спектроскопия глубоких уровней 47
2.L3. Токовая спектроскопия глубоких уровней 51
2.2. Описание комбинированной экспериментальной установки 54
2.2.1. Измерения емкостных спектров DLTS 54
2.2.2. Измерения токовых спектров DLTS. 58
2.4. Заключение 74
ГЛАВА 3 Радиационное де фекто образование в карбиде кремния после облучения его протонами и электронами 75
3.1 Исследование радиационного дефектообразования в n-типе карбида кремния после облучения электронами 75
3.2 Исследование радиационного дефектообразования в р-типе карбида кремния после облучения протонами 81
3.2.1. Радиационные дефекты в 4Н-политипе карбида кремния, вводимые облучением протонами с энергией 8 МэВ 84
3.2.2. Вольт - Фарадные измерения в карбиде кремния 91
3.2.3. Измерения удельного сопротивления образцов 93
3.3 Исследование воздействия высоких доз облучения протонами с низкими энергиями на карбид кремния 95
3.3.1. Описание эксперимента 96
3.3.2, Экспериментальные результаты 97
3.3.3. Анализ полученных данных 105
3.4. Стимулирование металлургических реакций протонным облучением на интерфейсе никель — карбид кремния
3.4.1. Введение. 107
3.4.2. Описание эксперимента 109
3.4.3. Экспериментальные результаты из
3.4.4. Анализ полученных результатов. 122
Выводы 123
Литература
