Введение
Глава 1 Анализ литературных источников. Постановка задачи 11
1.1 Формирование пылевых частиц в плазме емкостного высокочастотного разряда при распылении керамических электродов сложных оксидов 11
1.1.1 Особенности применения емкостного ВЧ разряда для напыления тонких пленок 11
1.1.2 Напыление тонких пленок сложных оксидов в емкостном высокочастотном разряде в среде кислорода 14
1.1.3 Механизмы транспортировки вещества в плазме разряда. Обнаружение пылевого скопления 16
1.2 Комплексная плазма газового разряда 17
1.2.1 Области существования и особенности 17
1.2.2 Методы формирования 19
1.3 Методы исследования комплексной плазмы емкостного высокочастотного разряда при помощи лазеров 20
1.3.1 Метод регистрации рассеяния лазерного излучения пылевыми частицами 20
1.3.2 Методы, основанные на поглощении излучения лазера 23
1.4 Выводы. Постановка задачи 27
Глава 2 Экспериментальная техника 28
2.1 Конструкция и параметры разрядной камеры 28
2.2 Состав экспериментальной установки и описание основных узлов 34
2.3 Система измерения оптических характеристик и сигналов 39
2.4 Система регистрации рассеянного пылевыми частицами лазерного излучения 41
2.5 Система измерения ИК излучения разогретых лазером пылевых частиц. 44
Глава 3 Формирование пылевого облака вблизи распыляемого электрода в кислородном емкостном высокочастотном разряде 49
3.1 Положение пылевого скопления в пространстве камеры, зависимость от параметров разряда 49
3.2 Влияние на плотность скопления пылевых частиц положения и потенциала вспомогательного электрода, глубина потенциальной ловушки 56
3.3 Выводы 61
Глава 4 Исследование динамики формирования и распада пылевого скопления в плазме асимметричного ВЧ разряда 62
4.1 Транспортировка пылевых частиц в пространстве разрядной камеры 62
4.2 Распад пылевого скопления после выключения разряда 67
4.3 Выводы 74
Глава 5 Обнаружение пылевых частиц в плазме разряда в режиме напыления тонких пленок методом лазерного накаливания 75
5.1 Обнаружение пылевых частиц с использованием математической обработки оптического сигнала 75
5.2 Регистрация излучения разогретых лазером пылевых частиц с применением синхронного детектирования 80
5.3 Выводы 85
Глава 6 Исследование пылевых частиц, образовавшихся в плазме кислородного асимметричного ВЧ разряда при распылении сложных оксидов
6.1 Накопление и сбор пылевых частиц 86
6.2 Исследование пылевых частиц сканирующим лазерным микроскопом 89
6.3 Исследование пылевых частиц электронным микроскопом 92
6.4 Определение элементного состава пылевых частиц 93
6.5 Исследование спектров комбинационного рассеяния пылевых частиц 95
6.6 Выводы 100
Заключение 101
Список литературы
