Введение
1. Состояние вопроса и постановка задачи 9
1.1. Термоакустическая диагностика различных материалов, включая полупроводниковые структуры 9
1.1.1. Типы источников термоупругих возмущений 9
1.1.2. Типы возбуждаемых акустических волн 13
1.1.3. Нелинейные акустические исследования 15
1.2. Акустоэмиссионные методы контроля дефектной структуры 17
2. Тепловое действие импульсного тока на структуры металлизации .. 22
2.1. Анализ температурных полей структур металлизации при импульсном токовом воздействии 22
2.1.1. Случай точечного источника нагрева 23
2.1.2. Случай прямоугольной дорожки бесконечной длины 27
2.2. Методика проведения эксперимента 30
2.3. Динамика температуры импульсно нагреваемой дорожки металлизации 33
3. Возбуждение звукового излучения тонкой пластины термоударами 39
3.1. Анализ возбуждения изгибных колебаний пластины точечным источником импульсного нагрева 39
3.2. Экспериментальные результаты и их обсуждение 45
3.2.1. Результаты регистрации изгибных колебаний в полупроводниковой пластине 47
3.2.2. Вероятность пластической деформации пластины при термоударе 57
4. Акустическая эмиссия (АЭ) при образовании и скольжении дислокаций 61
4.1. Анализ спектральной плотности АЭ при зарождении и скольжении краевой дислокации в изотропной среде 62
4.1.1. Приближение волновой зоны 65
4.1.2. Приближение малых частот и больших расстояний 74
4.1.3. Приближение для малых расстояний от системы дислокаций 78
4.2. Методика проведения эксперимента 83
5. Ультразвуковые исследования ангармонизма упругих свойств монокристаллов кремния 92
5.1. Анализ вклада носителей заряда в модули упругости кремния п- ир типов проводимости 93
5.1.1. Влияние перераспределения электронов по долинам на ангармонизм упругих свойств кристалла 93
5.1.2. Влияние перераспределения дырок в валентной зоне на ангармонизм упругих свойств кристалла 96
5.2. Методика измерения модуля упругости 4-го порядка 100
5.3.1. Концентрационный ангармонизм 104
5.3.2. Дислокационный ангармонизм 107
Основные результаты и выводы 111
Приложение
