Введение
ГЛАВА 1. Перспективы технологии изготовления резистивных элементов для развития МЭМС 10
1.1.Конструкция и технологии изготовления плавких резистивных ПереМЫЧеК 10
1.2. Исследование влияния защитной окисной пленки на надежность объектов МЭМС 17
1.3. Исследование влияния фотошаблонов и фотолитографии на надежность системы перемычек 24
1.4 Исследование технологии изготовления тонкопленочных резисторов 28
1.5 Оценка надежности системы плавких перемычек 35
Выводы 40
ГЛАВА 2. Теоретические и экспериментальные исследования отказов кремниевой структуры с перемычками 42
2.1. Методика экспериментальных исследований механизмов программирования объектов с перемычками 43
2.2. Статистический анализ отказов устройств с перемычками 47
2.3. Исследование конфигурации перемычек 53
2.4. Расчет температурного поля и термомеханических напряжений в нихромовых перемычках 59
Выводы 83
ГЛАВА 3. Исследование влияния температурных полей на надежностные характеристики устройств МЭМС 86
3.1 Обзор методов теплофизических расчетов пластин с размещенными источниками тепла 86
3.2.Исследование теплофизических особенностей конструкций объектов... 91
3.3. Расчет температурных полей конструкций объектов с плавкими перемычками 99
3.4. Исследование кремниевых кристаллов с перемычками в режиме динамического питания 111
В ы вод ы 116
ГЛАВА 4. Разработка рекомендаций по повышению надежности системы перемычек 117
4.1. Применение метода весовых компонентов для оценки надежности кремниевых кристаллов 117
4.2. Прогнозирование вероятности безотказной работы кремниевых кристаллов по результатам кратковременных испытаний 122
4.3. Методы обеспечения надежности кремниевых кристаллов с плавкими перемычками 129
Выводы 138
Заключение 139
Литература
