Введение
Глава 1. Модификация поверхности твёрдых тел ионными пучками ..15
1.1. Ионная бомбардировка поверхности твёрдых тел 15
1.2 Особенности ионной обработки оптических поверхностей 21
1.3 Методы контроля оптических поверхностей 24
1.4 Основные методы ионной обработки оптических материалов...26
1.4.1. Ионно-плазменные методы обработки оптических материалов 27
1.4.2. Ионная обработка оптических материалов с помощью ВЧ сеточного электрода 29
1.4.3. Использование автономных ионных пучков для обработки поверхности оптических деталей 31
Глава 2. Экспериментальная техника для реализации процесса ионной обработки 34
2.1 Метод ВЧ диодного распыления 34
2.2 Метод ионной обработки с помощью ВЧ сеточного электрода 35
2.3 Автономный ионный источник ИОН-4. 38
Глава 3. Исследование модифицированной ионными пучками поверхности оптических материалов 41
3.1. Влияние ионной обработки на оптические свойства стекла К8 и кварца 41
3.2. Ионная обработка свинцовосодержащих стекол 48
3.3. Исследование влияния ионной обработки на свойства МКП 52
3.4. Исследование влияния ионной обработки на свойства катодо-люминесцентной керамики 56
Глава 4. Исследование процесса ионно-химической обработки поверхности оптических материалов 62
4.1 Ионно-химическая обработка стекла 62
4.2 Модификация поверхности оптических материалов двухкомпо-нентными ионными пучками .74
Заключение 77
Выводы 78
Литература
