Исследование закономерностей формирования и модификации волнообразного нанорельефа на кремнии и в тонких пленках на основе кристаллического и аморфного кремния
Журавлев Иван Васильевич. Исследование закономерностей формирования и модификации волнообразного нанорельефа на кремнии и в тонких пленках на основе кристаллического и аморфного кремния : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 : Ярославль, 2004 148 c. РГБ ОД, 61:04-1/873