Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации
Кулевой Тимур Вячеславович. Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... доктора Технических наук: 01.04.04 / Кулевой Тимур Вячеславович;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»], 2019.- 252 с.
