Введение
Глава 1. Современные методы синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов 11
1.1. Метод синтеза голограмм, основанный на вычисления распределения комплексного амплитуды на плоскости голограммы 15
1.2. Метод синтеза голограмм, основанный на разделении объекта на элементарные блоки 20
1.3. Синтез штампов типовых элементов 23
1.4. Цифровое восстановление дискретных голограмм-проекторов 26
1.5. Выводы 27
Глава 2. Изображающие свойства дискретных голограмм 28
2.1. Влияние дискретной структуры голограммы на восстановленное с её помощью изображение 28
2.2. Экспериментальное исследование установленных закономерностей 39
2.3. Смягчение ограничений изображающих свойств, накладываемых дискретной структурой голограмм путём её модификации 42
2.4. Эффект подмены частот при регистрации дискретных голограмм 53
2.5. Выводы 57
Глава 3. Зависимость изображающих свойств синтезированных голограмм от метода представления объекта 60
3.1. Пространственно-частотный анализ голограммы и основанный на нём метод представления объекта 60
3.2. Критерий разрешения Рэлея и основанный на нём метод представления объекта 67
3.3. Выводы 75
Глава 4. Бинаризация синтезированных голограмм и её влияние на качество восстанавливаемых изображений 77
4.1. Бинаризация 77
4.2. О нелинейности синтезированных голограмм 79
4.3. Анализ зависимости интенсивности восстановленного изображения от размера исходного объекта 81
4.4. Экспериментальное исследование возможности обеспечения равной интенсивности в восстановленных изображениях путём оптимизации уровня бинаризации синтезированных голограмм 86
4.5. Методы бинаризации голограмм и их влияние на качество восстановленного изображения 91
4.6. Выводы 101
Глава 5. Анализ влияния дискретизации и бинаризации синтезированных голограмм на глубину резкости восстановленного изображения 102
5.1. Особенности изображающих свойств синтезированных голограмм-проекторов, предназначенных для фотолитографии на неплоских поверхностях 102
5.2. Особенности структуры синтезированных голограмм-проекторов и их влияние на глубину резкости восстанавливаемого изображения 109
5.3. Исследование возможности увеличения глубины резкости изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов 113
5.4. Выводы 119
Заключение 120
Список литературы 123
