Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si
Смагина Жанна Викторовна. Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Смагина Жанна Викторовна; [Место защиты: Ин-т физики полупроводников СО РАН]. - Новосибирск, 2008. - 211 с. : ил. РГБ ОД, 61:08-1/49
