Введение
Глава 1. Материалы с нанокристаллами и нанокластерами кремния: получение, электронное строение и оптические свойства 14
1.1. Получение материалов, содержащих нанокристаллы и нанокластеры кремния 14
1.2. Исследование оптических свойств структур на основе нанокристаллического кремния: нанокристаллы и нанокластеры в аморфной матрице диэлектрика .23
1.3. Экспериментальные методы исследования электронно-энергетического строения пленок субоксида кремния, содержащих нанокристаллы и нанокластеры кремния 43
1.4. Выводы, постановка целей задач диссертации .55
Глава 2. Нанокомпозитные пленки a-SiOx–a-Si:H и методы их исследования ...58
2.1. Формирование аморфных нанокомпозитных пленочных структур 58
2.2. Метод ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии. Получение эмиссионных L2,3 спектров кремния 63
2.3. Метод спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения. Получение Si L2,3 спектров квантового выхода ... 73
2.4. Исследования оптических свойств аморфных нанокомпозитных пленок a-SiOx–a-Si:H 82
2.5. Рентгенодифракционные исследования композитных слоев 83
Глава 3. Формирование пленок композитов a-SiOx–a-Si:H с различным содержанием кластеров кремния и оксидов кремния: электронное строение и оптические свойства 84
3.1. Электронно-энергетический спектр валентной зоны аморфных пленок композитов a-SiOx–a-Si:H и их фазовый состав 84
3.2. Электронно-энергетический спектр зоны проводимости аморфных пленок композитов a-SiOx–a-Si:H и ближний порядок атомов кремния 96
3.3. Перестройка оптических свойств пленок a-SiOx–a-Si:H с увеличением содержания кластеров кремния 100
3.4. Особенности электронного строения аморфных композитных пленок a-SiOx:H (0x2) и их оптических свойств 105
3.5. Выводы 106
Глава 4. Особенности электронного строения и фазового состава пленок a SiOx:H, сформированных газоструйным химическим осаждением с активацией электронно-пучковой плазмой 108
4.1. Влияние температуры подложки на структуру валентной зоны и содержание субоксида кремния в пленках a-SiOx:H 109
4.2. Перестройка плотности состояний у дна зоны проводимости аморфного кремния при увеличении содержания субоксида кремния в пленках a-SiOx:H 120
4.3. Выводы 124
Глава 5. Особенности электронно-энергетического спектра и атомного строения пленок полуизолирующего поликристаллического кремния, сформированных химическим осаждением из газовой фазы 125
5.1. Влияние технологических условий формирования на электронно энергетический спектр полуизолирующего поликристаллического кремния..125
5.2. Структурные изменения пленок полуизолирующего поликристаллического кремния 136
5.3. Выводы 142
Заключение и выводы из работы 144
Список литературы
