Введение
Глава I. Пористый кремний и полиамид. получение, основные физические и функциональные свойства 11
1.1 Получение и основные свойства пористого кремния 11
1.2 Окисление пористого кремния в водной и воздушной средах 14
1.3 Электрофизические характеристики пористого кремния 17
1.4 Физическая адсорбция в микро- и мезопорах 24
1.5 Полимеры (полиамиды). Получение, применение и свойства полимеров. 31
1.6 Взаимодействие воды с полимерами 36
1.7 Выводы к главе I 42
Глава II. Кремнивые мдп структуры с диэлектриком por-siв условиях сорбции паров воды 44
2.1 Методика ВЧ ВФХ МДП структур 44
2.1.1 Электронные свойства МДП структур. Метод ВФХ 44
2.1.2 Измерительно-вычислительный комплекс 53
2.1.3 Измерение отклика МДП структуры на изменение влажности 56
2.2. Адсорбционно-емкостнаяпорометрия 58
2,3 Выводы к главе II 75
Глава III. Физико-химия взаимодействия пористого кремния с водой 77
3.1 Методика получения хемографического изображения и измерения электродных потенциалов 77
3.2 Физико-химия взаимодействия пористого кремния с водой 81
3.3. Выводы к главе III 87
Глава IV. Кремнивые мдп структуры с полиамидным диэлектриком в условиях сорбции паров воды 88
4.1 Методика измерения электрофизических характеристик МДП-структур с подзатворным слоем из полиамида 88
4.2 Гетероструктуры кремний / полимер в условиях сорбции паров воды .. 90
4.3. Выводы к главе IV 101
Заключение и выводы 103
Литература 105
