Лагош Антон Валерьянович. Карбидокремниевые микромеханические ключи: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.01 / Лагош Антон Валерьянович;[Место защиты: ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ им. В.И.Ульянова (Ленина)], 2017