Введение
ГЛАВА 1. Методы анализа германия, кремния и их оксидов (литературный обзор) 14
1.1. Методы анализа германия и его оксида 14
1.1.1. Нейтронно-активационный анализ 16
1.1.2. Масс-спектрометрический анализ 19
1.1.3. Атомно-эмиссионная спектрометрия 21
1.1.4. Методы с индуктивно-связанной плазмой 27
1.1.5. Атомно-абсорбционная спектрометрия 32
1.1.6. Наиболее эффективные методики анализа германия и его оксида 35
1.2. Методы анализа кремния и его оксида 37
1.2.1. Нейтронно-активационный анализ 39
1.2.2. Масс-спектрометрический анализ 41
1.2.3. Атомно-эмиссионный анализ 44
1.2.4. Методы с индуктивно-связанной плазмой 49
1.2.5. Атомно-абсорбционная спектрометрия 54
1.2.6. Наиболее эффективные методики анализа кремния и его оксида 56
1.3. Выводы из литературного обзора 57
Экспериментальная часть 59
Глава 2. Организация работ с чистыми веществами 59
2.1. Общие правила работ с чистыми веществами 59
2.2. Реактивы. Очистка воды и кислот от примесей 59
2.3. Химическая посуда и другие материалы 61
2.4. Подготовка посуды к анализу 61
2.5. Основное оборудование 62
ГЛАВА 3. Разработка инструментальных ИСП-АЭС методик анализа 66
3.1. Разработка методики анализа германия и его оксида 68
3.1.1. Процедура анализа 68
3.1.2. Выбор аналитических линий 69
3.1.3. Выбор оптимально-компромиссной концентрации германия 70
3.1.4. Оценка метрологических характеристик методики 75
3.1.5. Аналитические возможности методики 78
3.2. Разработка методики анализа кремния и его оксида 79
3.2.1. Процедура анализа 79
3.2.2. Выбор аналитических линий 81
3.2.3. Выбор оптимально-компромиссной концентрации кремния 81
3.2.4. Оценка метрологических характеристик методики 85
3.2.5. Аналитические возможности методики 87
ГЛАВА 4. Разработка ИСП-АЭС методик анализа с предварительным концетрированием примесей 89
4.1. Разработка методики анализа германия и его оксида с предварительным концентрированием примесей после кислотного разложения 89
4.1.1. Процедура анализа 89
4.1.2. Выбор аналитических линий 90
4.1.3. Концентрирование 91
4.1.4. Оценка метрологических характеристик методики 92
4.1.5. Аналитические возможности методики 96
4.2. Разработка методики анализа кремния и его оксида с
предварительным концентрированием примесей после кислотного разложения 99
4.2.1. Процедура анализа 99
4.2.2. Выбор аналитических линий 100
4.2.3. Концентрирование 100
4.2.4. Оценка метрологических характеристик методики 101
4.2.5. Аналитические возможности методики 103
4.3. Разработка методики анализа кремния с предварительным концентрированием примесей в микроволновой печи 107
4.3.1. Процедура анализа 107
4.3.2. Вкладыш специальной конструкции 108
4.3.3. Выбор аналитических линий 110
4.3.4. Парофазное вскрытие и концентрирование 110
4.3.5. Оценка метрологических характеристик методики 111
4.3.6. Аналитические возможности методики 114
Выводы 117
Заключение 119
Список литературы
