Введение
1 Современные типы изделий микросистемной техники и интегральные технологии, применяемые при их создании
1.1 Основные современные типы изделий микросистемной техники
1.2 Базовые технологии создания микросистем и используемые материалы
1.2.1 Технология объемной микрообработки кремния 24
1.2.2 Технология поверхностной микрообработки 26
1.2.3 Технологии микроформовки 26
1.2.4 Перспективные микросистемные технологии и материалы
1.3 Термомикросистемы 31
1.3.1 Термоанемометрические преобразователи 31
1.3.2 Чувствительные элементы датчиков состава газа на основе полупроводящих пленок оксидов металлов
1.3.3 Неохлаждаемые микроболометрические преобразователи
1.4 Особенности конструкций термомикросистем 46
1.5 Перспективы создания многофункциональных интегрированных систем на основе термомикросистем
1.6 Выводы 52
2 Разработка физических моделей и моделирование конструктивных узлов термомикросистем
2.1 Физическая модель трехэлементного термоанемометрического преобразователя
2.1.1 Уравнение теплопроводности для трехэлементного термоанемометрического преобразователя
2.1.2 Стационарное решение уравнения теплопроводности
для трехэлементного термоанемометрического преоб- 60 разователя и его исследование
2.1.3 Исследование выражения для расчета чувствительности трехэлементного термоанемометрического преоб- 64 разователя
2.1.4 Чувствительность трехэлементного термоанемометрического преобразователя в приближении малых скоро- 67 стей
2.1.5 Чувствительность трехэлементного термоанемометрического преобразователя в приближении больших ско- 68 ростей
2.2 Моделирование распределения температуры в интегральной структуре с расположенным на диэлектрической мембране 70
тонкопленочным нагревателем 81
2.3 Выводы 80
Разработка конструктивно-технологического базиса для термомик росистем на основе диэлектрической мембраны 82
3.1 Элементы конструкций термомикросистем на основе диэлек трической мембраны
3.1.1 Конструкции чувствительных элементов термомикросистем
3.1.2 Конструкции нагревательных элементов термомикросистем
3.2 Конструкции термомикросистем 90
3.2.1 Конструкции трехэлементного термоанемометриче ского преобразователя
3.2.2 Конструкция преобразователя датчика взрывоопасных газов на основе полупроводящих пленок оксидов ме- 93 таллов
3.2.3 Конструкции неохлаждаемых микроболометрических преобразователей
3.3 Технология изготовления термомикросистем на основе диэлектрической мембраны
3.3.1 Особенности создания диэлектрических мембран для термомикросистем
3.3.2 Технология изготовления термочувствительных и нагревательных элементов
3.3.3 Вспомогательные элементы термомикросистем и технология их изготовления
3.4 Выводы 119
4 Экспериментальные исследования характеристик термомикросистем 121
4 Л Исследование экспериментальных образцов термоанемомет-рического преобразователя
4.1.1 Методика нахождения коэффициентов физической модели трехэлементного термоанемометрического преобразователя
4.1.2 Экспериментальное исследование чувствительности термоанемометрического преобразователя
4.2 Исследование экспериментальных образцов преобразователей датчика взрывоопасных газов
4.3 Исследование экспериментальных образцов неохлаждаемых микроболометрических преобразователей
4.4 Выводы 143
Заключение 145
Список использованных источников
