Введение
1. Маршрут моделирования микрооптоэлектромеханических систем 14
1.1 Обзор подходов к математическому моделированию МЭМС в различных программных продуктах 15
1.2 Обзор методов моделирования микроэлектромеханических систем 17
1.3 Обзор программных комплексов для проведения многомасштабного моделирования микроэлектромеханических систем 24
1.4 Интернет вещей 28
Выводы 32
2. Разработка математических моделей подсистем моэмс на примере моэм акселерометра на основе интерферометра фабри-перо 34
2.1 Получение структуры микрооптоэлектромеханического акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 35
2.1.1 Математическая модель механической подсистемы МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 35
2.1.2 Математическая модель оптической подсистемы МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 39
2.1.3 Математическая модель электронной подсистемы МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 43
2.2 Алгоритм системного моделирования подсистем МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 45
2.3 Разработка маршрута автоматизации системного проектирования МОЭМ акселерометра наоснове интерферометра Фабри-Перо 53
Выводы 57
3. Экспериментальное исследование распределенных МОЭМС на примере МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 59
3.1 Получение математической модели механической подсистемы распределенного МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 59
3.2 Разработка программного модуля, реализующего разработанный алгоритм получения математической модели механической подсистемы МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо 61
3.3 Экспериментальные исследования конструкции распределенного МОЭМ акселерометра в программном комплексе ANSYS 64
3.4 Анализ влияния технологического дефекта при производстве подвижной массы МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо на выходные характеристики МОЭМ
акселерометра 74
Выводы 79
4. Экспериментальное исследование влияния технологического дефекта на МОЭМ акселерометр на основе интерферометра Фабри-Перо с применением разработанного маршрута автоматизации системного проектирования МОЭМС 80
4.1. Получение математической модели механической подсистемы МОЭМ акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо с применением алгоритма повышения качества математической модели механической подсистемы 80
4.2 Исследование влияния технологических дефектов на собственные частоты механической подсистемы и на выходные характеристики МОЭМ акселерометра на основе интеферометра Фабри-Перо 91
Выводы 96
Заключение 97
Список использованной литературы
