Введение
1. Проблемы, методы и задачи математического моделирования и оптимизации тепловых процессов в микроэлектронных структурах 16
1.1. Выводы 24
2. Разработка математических моделей и постановка задач оптимизации тепловых процессов в микроэлектронных структурах 27
2.1. Обобщенная математическая модель процессов теплообмена в многослойных микроэлектронных структурах 28
2.2. Математическое описание процессов теплообмена в многослойных кусочно-неоднородных микроэлектронных структурах 31
2.3. Математическое описание процессов теплообмена в многослойных кусочно-однородных микроэлектронных структурах 34
2.4. Вариационная постановка задач теплообмена в многослойных микроэлектронных структурах 35
2.5. Постановка задач оптимального управления тепловыми процессами в многослойных микроэлектронных структурах 37
2.6. Выводы 39
3. Разработка методики и алгоритмов численного моделирования тепловых процессов в микроэлектронных структурах 41
3.1. Общая методика численного моделирования тепловых процессов в микроэлектронных структурах 41
3.2. Построение эффективных алгоритмов численного моделирования тепловых процессов в микроэлектронных структурах 47
3.3. Выводы 66
4. Математическое моделирование тепловых процессов в многослойных кусочно-неоднородных структурах с плоскостной симметрией и оценка погрешности методов эквивалентной гомогенизации 68
4.1. Математическое описание процессов теплообмена в многослойных кусочно-неоднородных структурах с плоскостной симметрией 68
4.2. Построение аналитических моделей процессов теплообмена в многослойных кусочно-неоднородных структурах с плоскостной симметрией методом эквивалентной гомогенизации 69
4.3. Оценка погрешности методов эквивалентной гомогенизации 73
4.4. Выводы 76
5. Математическое моделирование и оптимизация тепловых процессов в микроструктурах твердотельной электроники 77
5.1. Расчет тепловых режимов гибридных матричных фотоприемников инфракрасного диапазона спектра на основе узкозонных твердых растворов CdxHg,.Je(KPT) 77
5.2. Оптимальное управление тепловым состоянием микроэлектронных сорбционно-кондуктометрических газовых сенсоров на основе пленок диоксида олова 84
5.3. Оптимальное управление тепловым состоянием детекторов рентгеновского и гамма-излучений на основе широкозонных твердых растворов теллурида кадмия-цинка (CaVxZnxTe) 92
5.4. Выводы 102
6. Математическое моделирование тепловых процессов в микроэлектромеханических системах на основе многослойных структур 104
6.1. Математическое моделирование процессов теплообменна в микродвигателях на основе многослойных волокнистых микроструктур... 104
6.1.1. Общая характеристика и классификация многослойных структур микродвигателей 105
6.1.2. Численное моделирование температурных полей в многослойных плоскосимметричных структурах микродвигателей с электрически пассивными и активными ферромагнитными слоями 107
6.1.3. Расчет тепловых режимов микродвигателей на основе многослойных волокнистых микроструктур 115
6.2. Выводы 119
7. Математическое моделирование процессов теплообмена при взаимодействии пучков заряженных частиц с многослойными микроэлектронными структурами в процессе диагностики их свойств 120
7.1. Численное моделирование процессов теплообмена при взаимодействии электронного зонда с многослойной микроэлектронной структурой 120
7.1.1. Расчет распределения плотности тепловых источников 121
7.1.2. Расчет температурных полей, возникающих при взаимодействии электронного зонда с многослойной микроэлектронной структурой 122
7.2. Выводы 131
8. Математическое моделирование и оптимизация процессов теплообмена при получении монокристаллов полупроводниковых соединений для изделий микроэлектронной техники 133
8.1. Численное моделирование и оптимизация тепловых процессов при выращивании монокристаллов полупроводниковых соединений методом направленной кристаллизации 133
8.2. Численное моделирование тепловых процессов при выращивании монокристаллов полупроводниковых соединений методом бестигельной зонной плавки с радиационным нагревом 147
8.3. Выводы 153
Основные результаты и выводы 154
Список использованных источников 159
