Введение
1. Моделирование эффектов, связанных с шероховатостью границ раздела сред с различными оптическими свойствами 13
1.1 Методы учета рассеяния на шероховатой поверхности 15
1.2 Учет рассеяния на шероховатой поверхности с точностью до членов второго порядка малости 21
1.2.1 Постановка задачи 21
1.2.2 Сведение задачи рассеяния к системе линейных алгебраических уравнений 24
1.2.3 Подход к решению системы линейных алгебраических уравнений 27
1.2.4 Выражения для амплитуд рассеянных мод 30
1.2.5 Поправки к амплитудным коэффициентам отражения и пропускания, связанные с возмущением границы раздела сред 31
1.3 Крупномасштабная и мелкомасштабная шероховатости 36
1.3.1 Сравнение с результатами скалярной теории дифракции 36
1.3.2 Физические эффекты, связанные с затухающими модами 37
1.3.3 Применимость приближений крупномасштабной и мелкомасштабной шероховатостей 41
1.4 Оценки крупномасштабной и мелкомасштабной среднеквадратичных шероховатостей на основе экспериментов атомной силовой микроскопии 46
Выводы к главе 1 50
2. Исследование параметров тонких пленок с учетом шероховатости границ 51
2.1 Вариации элипсометрических углов при наличии мелкомасштабной поверхностной шероховатости слоя 54
2.2 Выбор модели пленки для решения обратной задачи спектральной эллипсометрии 65
2.3 Сравнение результатов спектральной элипсометрии и атомной силовой микроскопии 73
2.4 Определение параметров пленок в области вакуумного ультрафиолета по спектральным фотометрическим данным 81
Выводы к главе 2 92
3. Учет шероховатости границ в многослойных структурах 93
3.1 Расчет спектральных характеристик многослойных покрытий с учетом шероховатости границ слоев 93
3.2 Эффекты в многослойных структурах, связанные с наличием шероховатости границ слоев 99
3.2.1 Эффекты, вызванные крупномасштабной и мелкомасштабной шероховатостью 99
3.2.2 Исследование реальных многослойных зеркал для длины волны 193 нм 102
3.2.3 Влияние мелкомасштабной шероховатости на свойства чирп-зеркал 108
Выводы к главе 3 115
Заключение 116
Литература 118
