Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака

Новоселов, Константин Петрович. Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Москва, 2000.- 101 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-1/293-6
Автор
Новоселов, Константин Петрович
Год
2000

  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей
99 000 UZS
Автор
Быков, Виктор Александрович
Количество страниц
Год
2000
Методы зондовой диагностики микроструктур: теория, моделирование и обратные задачи
99 000 UZS
Автор
Зайцев Сергей Иванович
Количество страниц
Год
2000
Формирование и люминесцентные свойства ансамблей нанокристаллических частиц кремния
99 000 UZS
Автор
Лешок, Андрей Александрович
Количество страниц
Год
2000
Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур
99 000 UZS
Автор
Короткевич, Александр Васильевич
Количество страниц
Год
2000
Влияние слабых магнитных полей на свойства границы кремний-оксид кремния
99 000 UZS
Автор
Нарейко, Андрей Игоревич
Количество страниц
Год
2000
Новостной блок
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3