Введение
Глава 1. Количественная оже-спектроскопия окисленной поверхности пористого кремния
1.1. Формирование пористого кремния 15
1.2. Механизмы окисления и роль оксида кремния в фотолюминесценции пористого кремния .22
1.3. Анализ состава поверхности пористого кремния с использованием факторов элементной чувствительности 27
1.4. Неразрушающий анализ стехиометрии окисленной поверхности пористого кремния 41
Выводы по главе 1 51
Глава 2. Фотостимулированная эволюция фотолюминесценции пористого кремния
2.1. Анализ моделей фотолюминесценции пористого кремния 53
2.2. Влияние на фотолюминесценцию пористого кремния лазерного, электронного и у-облучения 62
2.3. Кинетика фотолюминесценции пористого кремния при лазерном воздействии 66
2.4. Фотолюминесценция пористого кремния при одновременном лазерном и термическом воздействиях 81
2.5. Влияние плотности мощности лазерного облучения на кинетику фотолюминесценции пористого кремния 90
2.6. Влияние химической обработки и старения на фотостимулированную эволюцию фотолюминесценции пористого кремния 93
Выводы по главе 2 106
Глава 3. Электронно-стимулированные процессы на поверхности пористого кремния
3.1. Оже-спектроскопия типа и расположения водородных групп в пористом кремнии 108
3.2. Влияние последовательного электронного и лазерного облучения на фотолюминесценцию пористого кремния 1 16
3.3. Модификация электронной структуры и энергия активации гашения фотолюминесценции пористого кремния при электронном облучении 129
3.4. Роль диффузионных процессов и зарядки поверхности в электронно-стимулированном гашении фотолюминесценции пористого кремния 137
3.5. Модификация состава поверхности пористого кремния при последовательном облучении электронами высоких и средних энергий 146
Выводы по главе 3 155
Глава 4. Влияние электрического поля, термовакуумной и ионно-плазменной обработки на свойства пористого кремния
4.1. Механизмы водного дотравливания пористого кремния п-типа проводимости в электрическом поле 158
4.2. Аномальная эволюция фотолюминесценции пористого кремния в электрическом поле 175
4.3. Механизмы стабилизации фотолюминесценции пористого кремния термовакуумным отжигом 191
4.4. Зарядка поверхности термически обработанных в вакууме образцов пористого кремния во время облучения электронами 196
4.5. Модификация состава поверхности и спектра фотолюминесценции пористого кремния в процессе аргонно-кислородной ионно-плазменной обработки 208
Выводы по главе 4 218
Глава 5. Карбонизированный пористый кремний
5.1. Методика карбонизации пористого кремния 222
5.2. Состав и структура карбонизированного пористого кремния 226
5.3. Фотолюминесценция и деградационные свойства карбонизированного пористого кремния 238
5.4. Гетероструктурные эффекты в карбонизированном пористом кремнии... 244
5.5. Особенности фотолюминесценции карбонизированного пористого кремния, легированного галлием 249
5.6. Аномальный характер кинетики затухания фотолюминесценции карбонизированного пористого кремния 256
5.7. Электронно-стимулированные процессы в карбонизированном пористом кремнии 262
5.8. Гетероэпитаксия карбида кремния на пористом кремнии 272
Выводы по главе 5 281
Заключение 285
Список литературы 288
