Особенности структуры ионоимплантированных слоев кремния, выявленные с помощью рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения
Курипятник Андрей Валериевич. Особенности структуры ионоимплантированных слоев кремния, выявленные с помощью рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10.- Москва, 2003.- 136 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-1/1143-4
