Введение
1 Тонкие упрочняющие и защитные покрытия на основе фаз внедрения (твердых растворов внедрения) 13
1.1 Сильно нестехиометрические твердые соединения на основе фаз внедрения 22
1.2 Ультрадисперсные материалы и покрытия. Классификация, структура, способы получения 27
1.3 Вакуумные методы нанесения покрытий 34
1.3.1 Нанесение покрытий методами газофазного осаждения (химическое осаждение) 41
1.3.2 Вакуумно-плазменные методы нанесения покрытий (физическое осаждение) 42
1.4 Ионная имплантация как метод модификации покрытий 46
1.5 Внутренние напряжения в покрытиях и методы их измерения 55
1.5.1 Характеристика внутренних напряжений ...,56
1.5.2 Методы измерения внутренних напряжений в покрытиях 57
1.6 Постановка задачи 60
2 Материалы и методы исследования 63
2.1 Материалы исследования 63
2.2 Методы исследования состава, микроструктуры, топологии поверхности и физико-механических свойств покрытий 66
2.2.1 Измерение адгезионной прочности покрытий 67
2.2.2 Подготовка объектов для просвечивающей электронной микроскопии 69
2.2.3 Методика электронно-микроскопических исследований покрытий на основе нитрида титана 74
2.2.4 Измерение остаточных внутренних напряжений в покрытиях методами просвечивающей электронной микроскопии 92
3 Микроструктура покрытий на основе нитрида титана, нанесенных вакуумными методами 95
3.1 Микроструктура покрытий, нанесенных методом газофазного осаждения 95
3.2 Микроструктура покрытий на основе нитрида титана, нанесенных вакуумно-плазменными методами 101
3.2.1 Вакуумно-дуговые покрытия 101
3.2.2 Покрытия, нанесенные методом активированного реакционного испарения 109
3.2.3 Микроструктура ионно-плазменных покрытий, полученных в условиях очистки плазмы вакуумно-дугового разряда от капельной фракции 118
3.2.4 Микроструктура и состав покрытий на основе нитрида титана, полученных методом плазмо-магнетронного осаждения 157
3.3 Особенности микроструктуры покрытий, полученных вакуумными методами 164
4 Модификация микроструктуры покрытий на основе нитрида титана при ионной имплантации 167
4.1 Ионно-имплантированные газофазные покрытия 168
4.1.1 Микроструктура газофазных покрытий, имплантированных ионами металлов 168
4.1.2 Модификация микроструктуры газофазных покрытий в процессе имплантации азотом 172
4.2 Ионно-имплантированные покрытия, полученные методом активированного реакционного испарения (АРИ) 175
4.2.1 Влияние металлической ионной имплантации на микроструктуру АРИ покрытий 175
4.2.2 Послойное исследование микроструктуры АРИ покрытия, имплантированного азотом 182
4.2.3 Модификация топологии поверхности и физико-механических свойств покрытий в процессе ионной имплантации 202
4.3 Заключение по четвертой главе 213
Основные результаты и выводы 215
Литература 219
