Введение
1. Текущее состояние и перспективы развития технологии мониторинга и управления климатическими параметрами при изготовлении бортовой микроэлектроники 12
1.1 Общая характеристика технологического процесса производства бортовой микроэлектроники 12
1.2 Особенности функционирования климатической динамической системы при производстве бортовой микроэлектроники 30
1.3 Анализ систем автоматического мониторинга и управления микроклиматом в помещениях для изготовления бортовой микроэлектроники 35
1.4 Анализ направлений совершенствования систем управления микроклиматом в чистых производственных помещениях на основе анализа патентной активности 41
1.5 Анализ рисков при реализации процесса автоматического управления
климатической динамической системой при производстве микроэлектроники 47
1.6 Обоснование направлений совершенствования производственного процесса изготовления бортовой микроэлектроники путем повышения качественных показателей климатической системы в чистых помещениях 62
1.7 Результаты и выводы по разделу 1 70
2 Технология автоматического устойчивого управления климатической динамической системой на основе рекуррентного мониторинга с нечеткой логикой 71
2.1 Особенности автоматического управления климатической динамической системой в условиях априорной неопределенности 71
2.2 Математическая модель системы автоматического мониторинга климатических параметров в производственном помещении для изготовления бортовой микроэлектроники
2.3 Математическая модель процессов автоматического управления состоянием динамической системы на основе рекуррентного оценивания 90
2.4 Автоматическое управление климатической динамической системой на основе рекуррентного мониторинга с нечеткой логикой 96
2.5 Результаты и выводы по разделу 2 104
3 Методики и алгоритмы управления климатической системой на основе рекуррентного мониторинга с нечеткой логикой 106
3.1 Методика формирования функций принадлежности и базы лингвистических правил при использовании экспертного оценивания и данных рекуррентного мониторинга 106
3.2 Алгоритмы моделирования процедур адаптивного нечеткого управления климатическими параметрами технологического процесса производства микроэлектроники 128
3.3 Система нечеткого управления климатическими параметрами в технологическом процессе производства микроэлектроники 137
3.4 Модель функционирования климатической динамической системы и особенности ее реализации в среде компьютерной математики MatLab 142
3.5 Анализ качественных показателей процедур управления климатической динамической системой в чистых производственных помещениях на основе результатов статистического моделирования 146
3.6. Результаты и выводы по разделу 3 170
Заключение 173
Список используемых источников 176
