Введение
Глава 1 12
1.1. Исторический подход к моделированию роста кристаллов, подход с использованием принципа "solid-on-solid" 12
1.2. Быстрый метод расчета Максима 17
1.3. Моделирование процессов отжига пористого кремния 26
1.4. Методы расчета энергии активации поверхностной диффузии...33
1.5. Ограничения применения метода Монте-Карло при моделировании процессов роста кристаллов и осаждения атомов на их поверхность 37
1.6. Выводы 38
Глава 2 40
2.1. Применение метода Монте-Карло для расчета динамики атомарной системы. Простейшая схема моделирования и алгоритм BKL 40
2.3. Алгоритм моделирования процессов адсорбции, поверхностной и объемной диффузии атомов 46
2.5. Выводы 56
Глава 3 57
3.1. Моделирование изменения морфологии нанопор в процессе термического отжига 57
3.2. Влияние глубины пор на их морфологию в процессе термического отжига пористого кремния 62
3.3. Зависимость времени перекрывания пор от температуры пористого слоя 67
3.4. Моделирование отжига пористого слоя кремния в неоднородном температурном поле 70
3.5. Выводы 82
Глава 4... 83
4.1 Определение коэффициентов объемной диффузии атомов и степени карбонизации кремния 83
4.2 Результаты моделирования карбонизации пористого слоя кремния толщиной 15 нм 90
4.3. Моделирование карбонизации длинных квантовых нитей в пористом кремнии 102
4.4. Влияние температуры подложки на процесс карбонизации пористого кремния 110
4.5. Влияние градиента температур на процесс карбонизации пористого кремния 116
4.6. Сравнение с экспериментальными данными 121
4.7. Выводы 125
Основные выводы 127
Список использованной литературы:
