Модификация структурных характеристик поверхности (001) кремния в микроэлектронной технологии
Максимова, Татьяна Ивановна. Модификация структурных характеристик поверхности (001) кремния в микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01.- Одесса, 2000.- 22 с.: ил.