Введение
Глава 1. Способы получения, механизмы формирования и области применения макропористого кремния 15
1.1 Способы получения пористого кремния и классификация пор... 15
1.2 Механизмы электрохимического травления кремния 20
1.3 Формирование макропористых пленок на кремнии п- и р-типа проводимости 36
1.4 Выбор электролита при глубоком анодном травлении кремния р-типа проводимости 39
1.5 Структура, состав и свойства пористого кремния 45
1.6 Области применения пористого кремния 50
1.7 Способы получения и проблемы формирования упорядоченных структур на основе макропористого кремния 54
1.8 Выводы и постановка задачи 61
Глава 2. Оборудование, методика приготовления и исследования образцов 63
2.1. Отмывка пластин и сушка 63
2.2. Микроструктурирование кремния при помощи анизотропного щелочного травления 63
2.3. Создание центров нуклеации на поверхности кремния при помощи сфокусированного ионного пучка 66
2.4. Создание контакта на обратной стороне пластины кремния,...66
2.5. Оборудование для анодного травления кремния 67
2.6. Оборудование для исследования образцов 68
2.7. Методика приготовления плоских и косых шлифов пористых структур 69
2.8. Особенности сушки мезопористых пленок кремния 70
2.9. Методика изучения первой стадии анодного травления кремния.71
Глава 3. Исследование особенностей формирования нуклеационных центров в процессе анодного травления кремния 74
Введение 74
3.1. Анодизация в растворах с формированием кратера травления на начальной стадии глубокого анодного травления 75
3.2. Анодное травление кремния в различных растворах на основе плавиковой кислоты 87
3.3. Применение микро- Рамановской спектроскопии для изучения механических напряжений, возникающих на границе пористый слой-кремний 99
Выводы по главе 3 109
Глава 4. Структура и перераспределение макропор при анодном травлении изотропной и одноосно напряженной поверхности кремния ... 110
Введение 110
4.1. Топологическая структура макропор при анодном травлении изотропной поверхности кремния 111
4.2. Переход к квазиодномерному (щелевому) порядку распределения макропор при анодном травлении поверхности кремния, находящейся под воздействием механических напряжений 116
Выводы по главе 4 125
Глава 5. Использование сфокусированного ионного пучка для управления процессом зарождения макропор на первой стадии глубокого анодного травления кремния 127
Введение 127
5.1. Стимулированное ионной обработкой глубокое анодное травление кремния 129
Выводы по главе 5 140
Приложение 141
П.1. Моделирование процесса травления поверхности кремния на первой стадии глубокого анодного травления кремния 141
П2. Влияние параметров процесса глубокого анодного травления на характеристики получаемых упорядоченных макропористых структур... 143
ПЗ. Исследование методов формирования топологического рельефа пористой структуры при глубоком анодном травлении кремния с помощью фоторезиста 150
Заключение 156
Список литературы
