Введение
1 Анализ литературных данных 10
1.1 Фоточувствительные слои на основе PbS 16
1.2 Роль кислорода 33
1.3 Основные параметры ФЧС 35
Постановка задачи 41
2. Методы измерений параметров, обработки и исследований фоточувствительных слоев 42
2.1. Измерение фотоэлектрических параметров и характеристик 42
2.1.1. Автоматическая система электрофизических измерений ASEC-03 42
2.1.2. Установка для измерения фотоэлектрических параметров 45
2.1.3. Установка для снятия спектра плотности мощности шума 47
2.1.4. Установка для исследования спектральных характеристик 48
2.2. Термообработка исследуемых фоточувствительных слоев 49
2.3. Исследование морфологии и структуры ФЧС 50
2.3.1. Электронная и ионная микроскопия 50
2.3.2. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопии 52
2.3.3 .Электронно-ионный микроскоп Helios NanoLab 600 55
2.3.4. Растровый электронный микроскоп VEGA II SBU 57
2.3.5. Просвечивающие электронные микроскопы Tecnai G2 20 TWIN и S/TEM Titan 80-300 (FEI, США) 58
3. Исследуемые образцы 67
4. Результаты исследования фоточувствительных слоев (ФЧС) 70
4.1 Исследование электрофизических свойств ФЧС 70
4.1.1 Исследование температурной зависимости сопротивления ФЧС 70
4.1.2 Результаты DLTS 73
4.1.3. Результаты исследования СПМШ ФЧС 80
4.1.4. Результаты исследования спектральной характеристики ФЧС 82
4.2 Исследование морфологии поверхности фоточувствительных слоев 85
4.2.1. Применение сканирующей зондовой микроскопии 86
4.2.2. Применение растровой электронной и ионной микроскопии для исследования свойств ФЧС 97
4.3 Исследование состава ФЧС 105
4.3.1 Исследование состава ФЧС с помощью энергодисперсионного анализа 105
4.3.2 Исследование состава ФЧС с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и оже-электронной спектроскопии 109
4.4. Исследование фоточувствительных слоев с помощью просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения 113
4.5. Обсуждение результатов 116
Заключение 122
Литература 124
