Введение
1 Обзор литературы 14
1.1 Явления переноса в полупроводниках 14
1.1.1 Электропроводность 18
1.1.2 Термоэлектрические эффекты 21
1.1.3 Теплопроводность 25
1.2 Термоэлектрические материалы 29
1.2.1 Силициды металлов 29
1.2.2 Силицид хрома 31
1.2.3 Силицид марганца 32
1.3 Аморфные вещества 38
1.3.1 Проводимость в аморфном веществе 38
1.3.2 Термоэдс в аморфном состоянии вещества . 43
1.3.3 Теплопроводность в аморфном состоянии 43
1.3.4 Фазовые превращения в аморфном веществе . 44
1.4 Наноструктурирование 46
1.4.1 Виды наноструктурированного состояния вещества 46
1.4.2 Методы получения нанокристаллических веществ 48
1.4.3 Нанокристаллизация 50
1.4.4 Особенности нанокристаллических веществ . 51
2 Методы исследования 54
2.1 Получение образцов 54
2.2 Методика измерения транспортных свойств 56
2.2.1 Измерение удельного сопротивления 58
2.2.2 Измерение термоэдс 64
2.3 Методы изучения структурного состояния вещества . 67
3 Структурные свойства силицидов хрома и марганца 70
3.1 Структурные свойства и эволюция аморфной фазы 70
3.1.1 Модификация аморфного состояния 72
3.2 Структурные свойства нанокристаллической фазы 77
3.2.1 Нанокристаллизация 77
3.2.2 Изоляция нанокристаллической фазы 85
3.2.3 Перколяционный кластер 89
3.2.4 Параметры кристаллизации 90
3.2.5 Стабильность нанокристаллической фазы 97
3.3 Заключение к главе 3 99
4 Транспортные свойства тонких плёнок силицидов хрома и марганца 101
4.1 Транспортные свойства аморфной фазы 101
4.1.1 Аморфная фаза. Исходное состояние 103
4.1.2 Аморфная фаза. Модифицированное состояние 108
4.1.3 Влияние состава на транспортные свойства аморфной фазы 113
4.2 Транспортные свойства нанокристаллической фазы 116
4.2.1 Транспортные свойства силицидов хрома и марганца на начальной стадии кристаллизации . 118
4.2.2 Перколяция 123
4.2.3 Поликристаллизация 129
4.2.4 Энергия активации 130
4.2.5 Селективное рассеяние и размерные эффекты . 132
4.3 Влияние толщины плёнки и материала подложки на транспортные свойства 136
4.4 Фактор мощности силицидов хрома и марганца 140
4.5 Заключение к главе 4 145
Общие выводы 147
Благодарности 149
Список публикацийпотеме диссертации 150
Список использованной литературы 151
