Введение
Глава 1. Методы литографии и их применение для создания микро- и наноструктур 11
1.1 Основные литографические методы 11
1.2 Методы сканирующей зондовой литографии 12
1.2.1 Принцип сканирующей зондовой литографии 12
1.2.2 Принцип работы атомно-силового микроскопа 12
1.2.3 Виды сканирующей зондовой литографии 17
1.2.4 Локальное анодное окисление: принцип и применение 20
1.2.5 Механическое наноскрайбирование: принцип и применение 28
1.3 Электронно-лучевая литография 30
1.3.1 Принцип электронно-лучевой литографии 30
1.3.2 Резисты для электронно-лучевой литографии 32
1.3.3 Параметры экспонирования 34
1.3.4 Сложности, возникающие во время проведения электронно-лучевой литографии 35
1.3.5 Применение электронно-лучевой литографии 38
1.4 Выводы и постановка задачи 39
Глава 2. Локальное анодное окисление тонких пленок ферромагнитных металлов 41
2.1 Введение 41
2.2 Тонкие пленки ферромагнитных металлов 42
2.2.1 Нанесение 42
2.2.2 Текстура 43
2.3 Методика эспериментов 44
2.3.1 Материалы 44
2.3.2 Инструменты 45
2.3.3 Локальное анодное окисление и параметры его проведения 46
2.3.4 Определение размеров оксидных структур 48
2.4 Влияние параметров локального анодного окисления на размеры оксидных структур 50
2.4.1 Влияние напряжения между зондом и образцом 50
2.4.2 Влияние времени окисления 51
2.4.3 Влияние влажности 53
2.4.4 Влияние амплитуды колебаний зонда 54
2.5 Влияние зонда на размеры оксидных структур 55
2.6 Влияние текстуры пленки никеля на размеры оксидных структур 58
2.7 Выводы 61
Глава 3. Изучение химических и электрических свойств структур, полученных на пленках ферромагнитных металлов с помощью локального анодного окисления 63
3.1 Введение 63
3.2 Вольт-амперные характеристики структур, полученных на пленках ферромагнитных металлов с помощью локального анодного окисления 63
3.3 Оже-спектроскопия структур, полученных на пленках ферромагнитных металлов с помощью локального анодного окисления 67
3.4 Выводы 69
Глава 4. Изучение магниторезистивных свойств структур, полученных на пленках ферромагнитных металлов с помощью наноскрайбирования зондом атомно силового микроскопа 71
4.1 Введение 71
4.2 Магнитосопротивление 71
4.3 Методика эксперимента 73
4.4 Результаты эксперимента 75
4.5 Теоретическое обоснование экспериментальных результатов 79
4.6 Выводы 80
Глава 5. Высокочастотные фононные кристаллы для поверхностных акустических волн на пленках ферромагнитных металлов 82
5.1 Введение 82
5.2 Фононные кристаллы 82
5.3 Исследование возможности создания фононных кристаллов для поверхностных акустических волн с помощью локального анодного окисления 84
5.4 Исследование фононных кристаллов для поверхностных акустических волн, полученных с помощью электронно-лучевой литографии 88
5.4.1 Проектирование 1D фононных кристаллов 88
5.4.2 Разработка технологического процесса получения 1D фононных кристаллов 90
5.4.3 Исследование полученных 1D фононных кристаллов 99
5.4.4 Исследование возможности получения 2D фононных кристаллов 102
5.4.5 Исследование влияния магнитного поля на распространение ПАВ в
структурах Ni/LiNbO3 108
5.5 Выводы 113
Заключение 115
Список сокращений и условных обозначений 117
Список литературы
