Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий
Невшупа, Роман Александрович. Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий : диссертация доктора технических наук : 05.27.06 / Невшупа Роман Александрович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2010. - 671 с.
