Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении
Бритков Олег Михайлович. Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Бритков Олег Михайлович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2009.- 235 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/2161