Введение
Глава 1. Оптические свойства полупроводниковых нанокристаллов в диэлектрических плёнках . 9
1.1 Методы получения диэлектрических плёнок с полупроводниковыми нанокристаллами. 9
1.2 Оптические свойства диэлектрических плёнок, содержащих полупроводниковые нанокластеры: влияние квантоворазмерного эффекта. 15
1.3 Преимущества гетероструктуры германий / оксид германия. 30
Глава 2. Экспериментальные методики. 32
2.1 Методики осаждения плёнок и отжигов. 32
2.2 Методики эллипсометрии и спектроскопии пропускания. 35
2.3 Методика фотолюминесценции . 41
2.4 ИК-спектроскопия и спектроскопия комбинационного рассеяния света. 44
2.5 Электронная микроскопия образцов. 52
Глава 3. Оптические свойства плёнок geox, содержащих нанокластеры германия . 54
3.1 Фотолюминесценция нанокластеров германия в плёнках GeOx: проявление квантово-размерного эффекта. 54
3.2 Исследование нанокластеров германия с применением спектроскопии комбинационного рассеяния света . 73
3.3 Влияние квантоворазмерного эффекта на эффективные оптические константы плёнок GeOx, содержащих нанокластеры германия. 87
3.4 Разрешённые и запрещённые оптические переходы в нанокристаллах германия. 98
Глава 4. Нанокластеры германия в многослойных гетероструктурах GeOx/SiOx . 104
4.1 Формирование и модификация нанокластеров германия в плёнках GeOx при печныхотжигах и импульсных лазерных воздействиях. 104
4.2 Кристаллизация нанокластеров германия в многослойных гетероструктурах GeOx/SiO2 при печных отжигах . 113
4.3 Температурная зависимость фотолюминесценции в плёнках GeOx и многослойных гетероструктурах GeOx/SiO2. 131
Основные результаты и выводы 138
Заключение 139
Литература
