Введение
Глава 1. Литературный обзор 11
1.1. Концепция фазовой памяти на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников 11
1.2. Современные типы устройств фазовой памяти 13
1.3. Халькогенидные сплавы, применяемые в современных устройствах фазовой памяти - оптических дисках различных форматов 20
1.4. Соединение GST225: структура, оптические, электрофизические и термоаналитические характеристики 21
1.5. Влияние легирующих примесей на структуру и свойства тонких пленок материалов фазовой памяти 33
Выводы по главе 1 43
Глава 2. Экспериментальная часть 44
2.1. Методы получения образцов для исследования 44
2.2. Экспериментальные методики, использованные для диагностики тонких пленок: рентгенофазовый и элементный анализы 54
2.3. Методы изучения оптических характеристик тонких пленок 56
2.3.1. Спектроскопия комбинационного рассеяния света 56
2.3.2. Оптическое пропускание тонких пленок 58
2.3.3. Спектральная эллипсометрия 64
2.3.4. Методика расчета оптического контраста 67 Выводы по главе 2 68
Глава 3. Оптические и структурные свойства тонких пленок Ge2Sb2Te5 69
3.1. Диагностика тонкопленочных структур GST225 69
3.2. Спектроскопия КРС и интерпретация полученных результатов 73
3.3. Оптическое пропускание тонких пленок GST225 и результаты расчета оптических свойств 77
3.4. Оптическое пропускание тонких пленок GST124, GST147 и результаты расчета их оптических констант 79
3.5. Оптические константы пленок GST225 82
3.5.1. Спектральные зависимости показателя преломления и коэффициента экстинкции, расчет оптического контраста 82
3.5.2. Исследование морфологии тонких пленок методом атомного силового микроскопа 85
3.6. Обсуждение полученных результатов 88
Выводы по главе 3 94
Глава 4. Влияние висмута на оптические свойства тонких пленок GST225 95
4.1. Определение элементного и фазового состава пленок, легированных висмутом 95
4.2. Влияние висмута на структурные свойства тонких пленок GST225 по данным спектров КРС 97
4.3. Влияние висмута на оптические свойства тонких пленок GST225 по данным спектров оптического пропускания 100
4.4. Влияние висмута на оптические константы тонких пленок GST225 по данным спектральной эллипсометрии 102
4. 5. Обсуждение полученных результатов 106 Выводы по главе 4 112
Глава 5. Влияние олова и индия на оптические свойства тонких пленок GST225 113
5.1. Определение элементного и фазового состава аморфных пленок GST225, легированных оловом и индием 113
5.2. Влияние олова и индия на структурные свойства тонких пленок GST225 по данным спектров КРС 116
5.2.1. Cпектры КРС тонких пленок, легированных Sn 116
5.2.2. Cпектры КРС тонких пленок, легированных In 119
5.3. Влияние олова и индия на оптические свойства тонких пленок GST225 по данным спектров оптического пропускания 122
5.3.1. Спектры оптического пропускания тонких пленок, легированных Sn 122
5.3.2. Спектры оптического пропускания тонких пленок, легированных In 124
5.4. Влияние олова и индия на оптические константы тонких пленок
GST225 по данным спектральной эллипсометрии 127
5.4.1. Спектральные зависимости показателя преломления и коэффициента экстинкции тонких пленок, легированных Sn 127
5.4.2. Спектральные зависимости показателя преломления и коэффициента экстинкции тонких пленок, легированных In 130
5. 5. Обсуждение полученных результатов 133
Выводы по главе 5 143
Основные выводы 144
Список литературы
