Введение
1. ЛАЗЕРНАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ 13
1.1. Практическое использование дифрактометрии. Объекты дифрактометрии 13
1.2. Дифракция на плоских экранах; основные свойства 17
1.2.1. Дифракция Фраунгофера на круглом отверстии в плоском экране; основные свойства 18
1.2.2, Дифракция Фраунгофера на прямоугольном отверстии в плоском экране; основные свойства 21
Выводы 23
2. ДИФРАКЦИОННЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ 24
2.1. Уравнение измерений дифракционного метода 24
2.2. Анализ способов выделения измерительной информации 27
2.2.1. Дифракционный способ, основанный на измерении интенсивности в фиксированной точке плоскости регистрации дифракционной картины 27
2.2.2. Дифракционный способ, основанный на измерении
интервала между экстремумами дифракционной картины 29
2.2.3. Дифракционный способ, основанный на анализе спектра сигнала 33
2.2.4. Дифракционный способ, основанный на анализе сигнала
в фазовом пространстве 36
2.2.5. Сравнительный анализ дифракционных способов измерения 40
2.3. Структурная схема дифракционного измерителя, анализ основных его узлов 43
Выводы 50
3. ОСОБЕННОСТИ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО СИГНАЛА В ЛАЗЕРНОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ 51
3.1. Анализ спектра и преобразование измерительного сигнала дифракционного измерителя
3.2. Синтез оптимальной весовой функции. Анализ методов ее реализации 56
3.3. Амплитудная пространственно-временная фильтрация 61
3.4. Бинарная пространственно-временная фильтрация 66
3.5. Экспериментальное исследование метода амплитудной пространственно-временной фильтрации 70
3.6. Экспериментальное исследование метода бинарной пространственно-временной фильтрации 74 Выводы 79
4. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ПОМЕХ НА ДИФРАКТОМЕТРИЮ МИКРООБЪЕКТОВ 80
4.1, Влияние параметров лазерного излучения на дифрактометриго микрообъектов 81
4. 1. Влияние гауссова распределения амплитуды поля на погрешность дифракционного метода измерения 82
4.1.2. Влияние неравномерности распределения фазы поля на круглом отверстии на погрешность дифракционного метода измерения 89
4.2, Влияние ограничения ширины спектра сигнала на погрешность дифракционного метода измерения 95
4.3, Влияние аддитивной помехи на погрешность дифракционного метода измерения 98
Выводы 102
5. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ЛАЗЕРНЫХ ДИФРАКТОМЕТРОВ И ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ И НАУКЕ 104
5.1. Лазерные дифрактометры 104
5.1.1. Дифракционные измерители диаметра
микропроволоки - ДИД-4, ДИД-4м, ДИД-5 105
5.1.2. Дифракционный измеритель диаметра микропроволоки - ДИД-8 109
5.1.3. Дифракционный измеритель диаметра отверстия ДИД-7 111
5.2. Практическое использование дифрактометров серии ДИД 115
Выводы 118
Заключение 119
Перечень литературы 121
Приложения 130
1. Свидетельство о метрологической аттестации дифрактометра 130
2, Акты внедрения 133
