Оптимизация технологии лазерного скрайбирования в производстве тонкопленочных солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния
Егоров Федор Сергеевич. Оптимизация технологии лазерного скрайбирования в производстве тонкопленочных солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Егоров Федор Сергеевич;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»], 2019