Введение
Глава 1. Исследование оптоэлектронного аналого-цифрового преобразователей перемещений фазового типа 19
1. Вывод выражения функции преобразования многомодуляторного оптоэлектронного АЦП перемещений фазового типа 20
2. Определение источников погрешностей устройства 25
Выводы по главе 1: 25
Глава 2. Методы и средства непосредственного преобразования перемещения во временной интервал 27
1. Метод непосредственного преобразования перемещения во временной интервал 27
2. Оптоэлектронный преобразователь перемещения во временной интервал. 30
3. Способы обеспечения свойств оптоэлектронного преобразователя перемещений во временной интервал, учитывающие специфические особенности его функционирования 33
Выводы по главе 2 56
Глава 3. Построение оптоэлектронных аналого-цифровых преобразователей перемещений временного типа 59
1. Классификация одномодуляторных оптоэлектронных аналого-цифровых преобразователей перемещений временного типа 59
2. Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного аналого-цифрового преобразователя перемещений временного типа последовательного считывания с синфазированием сигналов и постоянными частотами 60
3. Разработка и исследование одно модуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа последовательного считывания с постоянными фазами и синхронизацией частот с помощью делителя частоты 69
4, Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа последовательного считывания с синфазированием сигналов и с синхронизацией частот с помощью умножителя частоты 78
5. Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа последовательного считывания с синфазированием сигналов и синхронизацией частот с помощью делителя частоты 87
6. Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа параллельного считывания с синхронизацией частот и постоянными фазами 96
7. Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа параллельного считывания с синхронизацией частот посредством умножителей частоты без устройства синфазирования сигналов 106
8 Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа параллельного считывания с синхронизацией частот с помощью делителя частоты с синфазированием сигналов 115
9 Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа параллельного считывания со стабильными частотами с синфазированием сигналов 126
10 Разработка и исследование одномодуляторного оптоэлектронного АЦПП временного типа параллельного считывания с коррекцией частотной погрешности методом автоподстройки 138
Выводы по главе 3: 146
Глава 4. Экспериментальные исследования 147
1. Описание макета преобразователя 147
2.Принцип работы устройства 149
3. Описание устройства позиционирования (задатчика) 150
4. Основная задача эксперимента 153
5. Идентификация закона распределения результатов измерений в точке Х=50.01мкм 155
6. Идентификация закона распределения результатов измерений в точке Х=125.01мкм 158
7. Идентификация закона распределения результатов измерений в точке Х=200.01мкм 160
8. Определение рабочих характеристик устройства 164
Выводы по главе 4: 165
Заключение - выводы по диссертации 166
Список литературы 167
Приложение 173
