Введение …………………………………………………………………….…… 4
ГЛАВА I. Литературный обзор. ………………………….…………..………...12
1.1 Теплофизические аспекты взаимодействия пучка ионов с
диэлектрическими материалами………………………………………………..12
1.2. Основные определения и описания тепловых волн………………………21
1.3. Особенности возбуждения и распространение температурных волн
прямоугольной формы ………………………………………………………….22
1.4. Анализ существующих работ по нелинейным температурным вол-нам………………………………………………………………………………...29
ГЛАВА II. Влияние тепловой нелинейности на формирование стационарного температурного поля тонких пленок диэлектриков в поле пучка ионов…….34
Введение………………………………………………………………………….34
2.1. Влияние температурной зависимости теплофизических величин и
степени черноты на температурное поле диэлектриков в поле
непрерывного пучка ионов…………………………………………...………...34
2.2. Влияние температурной зависимости теплофизических величин и
степень черноты подложки на температурное поле диэлектриков в поле
непрерывного пучка ионов в воздухе и вакууме………………………………43
2.3. Влияние термостатированной подложки на температурное поле
диэлектрических пленок и подложки в поле непрерывного пучка ионов…...51
2.4. Влияние тепловой нелинейности теплофизических величин и степени
черноты на температурное поле тонких пленок полиимида в поле
непрерывного пучка протонов….………………………………………………54
ГЛАВА III. Особенности возбуждения линейных и нелинейных тепловых
Волн в пленках диэлектриков при облучение гармонически модулирован-ным ионным пучком…………………………………………………………….58
3.1. Теплофизическая модель задачи………………………………………….58
3.2. Решение системы уравнений для линейной составляющей колебания
температуры……………………………………………………………………..61
3.3. Решение системы уравнений для основной гармоники нелинейного
3
колебания температуры…………………………………………………………65
3.4. Решение системы уравнений для второй гармоники нелинейного
колебания температуры…………………………………………………………71
ГЛАВА IV. Особенности возбуждения линейных и нелинейных тепловых волн
в диэлектрических пленках и твердой подложке при облучении
гармонически модулированным ионным пучком……………………….........80
4.1. Теплофизическая модель задачи…………………………………………...80
4.2. Решение системы уравнений для линейной составляющей колебания
температуры……………………………………………………………………...83
4.3. Решение системы уравнений для основной гармоники нелинейного
колебания температуры……………………………………………………… 86
4.4. Решение системы уравнений для второй гармоники нелинейного
колебания температуры…………………………………………………………91
Заключения и основные выводы……………….………………………………96
Литература………..…………………………...…………………..…….………99
