Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями
Юрасов, Дмитрий Владимирович. Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Юрасов Дмитрий Владимирович; [Место защиты: Ин-т физики микроструктур РАН].- Нижний Новгород, 2012.- 153 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/20
