Разработка диэлектрических покрытий для повышения функциональных и эксплуатационных характеристик полупроводниковых приборов на основе гетероструктур AlGaAs/GaAs
Козырев, Антон Андреевич. Разработка диэлектрических покрытий для повышения функциональных и эксплуатационных характеристик полупроводниковых приборов на основе гетероструктур AlGaAs/GaAs : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Козырев Антон Андреевич; [Место защиты: Сарат. гос. техн. ун-т].- Саратов, 2011.- 122 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/3508
