Введение
1 Акустические волны в многослойных тонкопленочных пьезо-кристаллических структурах 15
Введение 15
1.1 Типы акустических волн, распространяющихся в многослойных тонко пленочных пьезокристаллических структурах 16
1.2 Методики моделирования волновых процессов в тонкопленочных пьезо структурах 20
1.2.1 Основные волновые уравнения пьезоакустики 20
1.2.2 Численный расчет параметров ОАВ, распространяющихся в многослойных тонко пленочных пьезоэлектрических структурах (методика Новотного - Бенеша) 24
1.2.3 Численный расчет параметров электроакустических волн Лэмба (методика Фарнелла - Джонса) 34
1.2.4 Метод конечных элементов для решения уравнений пьезоакустики в 3-D представлении 37
Выводы 43
2 Расчет основных параметров СВЧ тонкопленочных акустоэлек-тронных резонаторов 44
Введение 44
2.1 Основные параметры акустоэлектронных резонаторов 44
2.2 Методики и алгоритмы расчета основных параметров акустоэлектронных резонаторов 49
2.2.1 Модель Баттерворта - ван Дайка 50
2.2.2 Одномерная модель Новотного - Бенеша 56
2.2.3 Метод конечных элементов для 3-D моделирования и расчета основных параметров тонко пленочных резона торов 60
2.3 Численное тестирование конечно-элементной модели акусто-электронного резонатора 65
Выводы 75
Некоторые возможности улучшения основных параметров тонкопленочных акустоэлектронных резонаторов
Введение
3.1 Физические и конструктивные факторы, влияющие на добротность акустоэлектронных резонаторов 78
3.2 Влияние материала электродов на добротность 80
3.3 Особенности характеристик резонаторов с акустическим отражателем 84
3.4 Влияние формы и размеров электродов на основные характеристики акустоэлектронных резонаторов 90
3.5 Особенности планарной конструкции тонкопленочного резонатора 94
3.6 Влияние технологических погрешностей на основные параметры акустоэлектронных резонаторов 105
Выводы 108
Экспериментальный анализ параметров синтезированных тон копленочных резонаторов и сравнение с теоретическими расчетами 110
Введение ПО
4.1 Технология изготовления экспериментального образца ПО
4.2 Экспериментальный стенд и методика измерения основных параметров устройства 116
4.3 Результаты измерений акустоэлектронных резонаторов и сравнение их с результатами численного моделирования 119
4.3.1 FBAR резонатор мембранного типа 119
4.3.2 SMR-BAW резонатор 120
4.3.3 Экспериментальное сравнение SMR-BAW резонатора с симметричным и асимметричным акустическими отражателями 124
4.3.4 Технологические погрешности 126
Выводы 127
Заключение 129
Список литература 132
