Введение
1. Наноструктурные материалы (НСМ) 20
2. Технология пленок с нанокристаллической структурой (НКС) 78
3. Исходное состояние пленок 3(1-металлов с нанокристаллической структурой (НКС) 108
4. Структурная релаксация и превращения в пленках с НКС 158
5. Изменение электрических свойств в пленках Fe при нагреве 165
6. Пленочные НСМ системы Зс1-металл-азот 242
Основные результаты и выводы 365
Заключение 375
Список использованных источников
