Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3
Рындя Сергей Михайлович. Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Рындя Сергей Михайлович;[Место защиты: Научно-исследовательский физико-химический институт им.Л.Я.Карпова - ОАО].- Москва, 2014.- 158 с.
