Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе
Казанцева Инга Александровна. Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10.- Нижний Новгород, 2002.- 213 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/1011-7