Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях
Нефедов, Александр Сергеевич. Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Новочеркасск, 2000.- 154 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/2562-1