Введение
Глава 1. Редкоземельные полупроводниковые соединения и их применение в тензорезисторах . 10
1.1 Особенности свойств редкоземельных полупроводниковых соединений.
1.1.1 Общие сведения 10
1.1.2 Типичные группы соединений на основе РЗЭ 11
1.1.3 Соединения SmS, SmSe, SmTe . 13
1.1.4 Зонная структура и механизм фазового перехода в SmS 18
1.1.5 Пьезосопротивление SmХ. 23
1.1.6 Термовольтаический эффект в SmS. 24
1.2 Тензорезисторы 29
1.2.1 Общие сведения о тензорезисторах 29
1.2.2 Материалы, используемые в тензорезисторах. 33
1.2.3 Редкоземельные полупроводники в тензорезисторных датчиках механических величин 34
Выводы. 41
Глава 2. Методика эксперимента. Измерения электрических параметров SmS .43
2.1 Образцы 43
2.1.1 Синтез из простых веществ 43
2.1.2. Диффузионная реакция в твердой фазе 44
2.1.3. Выращивание кристаллов SmS 44
2.1.4. Получение тонкопленочных структур 45
2.2 Измерение электрических параметров 50
2.2.1 Коэффициент тензочувствительности 50
2.2.2 Барический коэффициент сопротивления 53
2.2.3 Температурный коэффициент сопротивления 56
2.2.4 Температурный коэффициент тензочувствительности 56
2.2.5 Определение энергии активации электронов проводимости в диапазоне температур 4,2-300 К. 58
2.2.6 Измерение термовольтаического эффекта -з Выводы. 59
Глава 3. Исследование электропереноса и зонной структуры моносульфидов с двухвалентными ионами РЗЭ . 61
3.1 Исследование примесных уровней в тонких поликристаллических пленках SmS. 61
3.2 Электропроводность и зонная структура тонких поликристаллических пленок EuS 68
3.3 Исследование электрических параметров тонких пленок твёрдых растворов состава Sm1-xEuxS 77
Выводы. 81
Глава 4. Исследование электрических свойств SmS под давлением . 83
4.1 Исследование температурных зависимостей электросопротивления монокристаллов SmS при различных давлениях. 83
4.2 Исследование электрических свойств тонких пленок SmS под давлением. 88
4.3. Исследование воздействия давления, создаваемого сферическим индентором, на электрические параметры SmS при различных температурах . 94
Глава 5. Особенности свойств тонкопленочных тензорезисторов на основе SmS . 100
5.1 Влияние наличия металлической фазы на электросопротивление и температурный коэффициент сопротивления 100
5.2 Влияние наличия металлической фазы на коэффициент тензочувствительности. 104
5.3 Температурная зависимость коэффициента тензочувствительности.108
5.4 Тестовые испытания тензорезисторов на основе тонких пленок SmS.110
Выводы. 116
Заключение 117
Литература
