Введение
Глава 1. Островковые тонкие пленки и наноструктуры 14
1.1. Образование островковых тонких пленок 14
1.2. Актуальность применения островковых тонких пленок и наноструктур 17
1.3. Методы получения островковых тонких пленок и наноструктур 27
1.4. Выводы по главе 1 36
Глава 2. Физические и математические модели формирования и функционирования островковых тонких пленок 37
2.1. Существующие модели роста островковых тонких пленок 37
2.2. Расчет времени образования островков 39
2.3. Технологические режимы формирования островковых тонких пленок в вакууме
2.3.1. Формирование островковых тонких пленок термическим испарением 45
2.3.2. Формирование островковых тонких пленок магнетронным распылением 47
2.4. Туннельный эффект 48
2.4.1. Токоперенос в металлических тонких пленках 50 Стр.
2.4.2. Электропроводность в металлических островковых тонких пленках 52
2.5. Постановка задачи экспериментальных исследований 54
2.6. Выводы по главе 2 56
Глава 3. Технологическое и измерительное оборудование для формирования и контроля роста островковых тонких пленок 58
3.1. Обзор малогабаритного вакуумного оборудования модульного типа 58
3.2. Вакуумное технологическое оборудование 61
3.3. Аналитическое и измерительное оборудование
3.3.1. Сканирующий зондовый микроскоп 64
3.3.2. Сверхвысоковакуумный зондовый микроскоп 70
3.3.3. Акустооптический спектрофотометр 71
3.3.4. Измеритель иммитанса 73
3.3.5. Пикоамперметр 75
3.4. Выводы по главе 3 76
Глава 4. Проведение экспериментальных исследований и обработка полученных результатов . 78
4.1. Формирование островковых тонких пленок с контролем сопротивления 78
4.2. Формирование островковых тонких пленок с контролем тока и обработка экспериментальных результатов 83
4.3. Апробация разработанной методики формирования островковых тонких пленок 109 Стр.
4.3.1. Формирование островковых тонких пленок из меди на кремнии 109
4.3.2. Формирование островковых тонких пленок из олова на ситалле 111
4.3.3. Формирование островковых тонких пленок из алюминия на ситалле
4.4. Измерение оптических характеристик островковых тонких пленок 115
4.5. Выводы по главе 4 118
Глава 5. Получение островковых тонких пленок в режиме удаленного доступа 120
5.1. Назначение интерактивного учебно-научного аппаратно-программного комплекса для формирования наноструктурированных тонкопленочных покрытий 120
5.2. Проектирование учебно-научного аппаратно-программного комплекса 122
5.3. Практическая реализация учебно-научного аппаратно-программного комплекса 146
5.4. Порядок работы на учебно-научном аппаратно-программном комплексе 149
5.5. Выводы по главе 5 153
Общие выводы и результаты работы 155
Список вводимых сокращений 157
Список источников .
