Введение
ГЛАВА 1. Аналитический обзор 11
1.1Свойства и применения слоев оксида никеля 11
1.2 Основные методы получения слоев оксида никеля 17
1.3 Особенности ХОГФ слоев оксида никеля 23
1.4 Выводы и постановка задачи исследования 38
ГЛАВА 2. Материалы и методы 40
2.1. Характеристика исходных материалов 40
2.2. Методика подготовки поверхности подложек 41
2.3. Технологическая установка для осуществления ХОГФ 43
2.4. Определение количества вещества в газовой фазе 51
2.5. Методы исследования толщины, состава, структуры и некоторых свойств получаемых слоев 54
2.6. Методика исследования состава газовой фазы при пониженном давлении 61
ГЛАВА 3. Масс-спектроскопическое исследование состава газовой фазы 66
3.1 Масс-спектр (EtCp)2Ni 67
3.2 Исследование газофазных превращений в системе «(EtCp)2Ni – O2 – Ar» 73
3.3 Исследование роли кислорода в системе «(EtCp)2Ni – O2 – Ar» 82
3.4 Исследование газофазных превращений в системе «(EtCp)2Ni – O3 – O2 – Ar» 85
ГЛАВА 4. Исследование физико-химических закономерностей хогф слоев оксида никеля 93
4.1 Исследование ХОГФ в системе «(EtCp)2Ni – О2 – Ar» 94
4.2 Исследование ХОГФ в системе «(EtCp)2Ni– О3 – О2 – Ar» 101
4.3 Состав и строение осаждаемых слоев 107
ГЛАВА 5. Свойства хогф слоев оксида никеля
5.1 Оптические свойства слоев оксида никеля 123
5.2 Влияние состава газовой среды на проводимость слоев оксида никеля 128
5.3 Электрохимическое окрашивание слоев оксида никеля 136
Заключение 143
Используемая литература
