Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии
Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Харламов Николай Александрович;[Место защиты: Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"].- Москва, 2015.- 141 с.
