Введение
Глава 1. Принципы измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов
1.1. Основные понятия
1.2. Классические методы измерения величины УЭС 10
1.2.1. Двузондовый метод 10
1.2.2. Четырёхзондовый метод 13
1.2.3. Измерение сопротивления растекания 14
1.2.4. Метод вихревых токов 16
1.3. Классические методы измерения величины ВЖ 17
1.3.1. Измерение спада фотопроводимости контактным методом 18
1.3.2. Бесконтактные измерения ВЖ по спаду фотопроводимости через отражение СВЧ излучения
1.4. Новые материалы и накладываемые ограничения на способы измерения 25
1.5. Недостатки контактных методов измерения электрофизических параметров
полупроводниковых материалов (постановка задачи диссертации) 29
Глава 2. Компьютерное моделирование процессов рекомбинации ННЗ 31
2.1. Решение уравнения непрерывности 31
2.2. Компьютерное моделирование процесса рекомбинации ННЗ 33
2.3. Анализ полученных данных 3 5
2.4. Измерение стандартных образцов 48
Глава 3. STRONG Разработка конструктивного исполнения измерителя жизни неравновесных носителей
заряда бесконтактным СВЧ методом STRONG 56
3.1. Схема СВЧ детектора для измерения величины ВЖ 56
3.2. Измерения ВЖ кремниевых образцов по спаду фотопроводимости 59
3.3. Схема измерения и обработка результата 69
3.4. Анализ работы измерителя величины ВЖ 71
Глава 4. Разработка конструктивного исполнения измерителя удельного электросопротивления бесконтактным СВЧ методом 76
4.1. Применение СВЧ детектора для измерения величины УЭС 76
4.2. Схема СВЧ детектора УЭС и принцип работы устройства 78
4.3. Калибровочные измерения УЭС образцов монокристаллического кремния и образцов КУПНК
4.3.1. Калибровка прибора по набору кремниевых образцов с различными величинами толщин и удельных электросопротивлений 83
4.3.2. Калибровка прибора по набору кремний-углеродных плёнок со структурой нанокомпозита 86
4.4. Схема измерения и обработка результата 92
4.4.1. Схема преобразования сигнала и его анализ при помощи микроконтроллера РІС 18 92
4.4.2. Управляющая программа 94
4.4.3. Аналитическая программа 96
4.5. Анализ работы измерителя УЭС 99
Глава 5. Работа комбинированной установки 109
5.1. Схема объединения детекторов УЭС и ВЖ 109
5.2. Управление отдельными элементами устройства 111
5.3. Калибровочные измерения ВЖ и УЭС 113
5.4. Обсуждение результатов 120
Заключение 122
Публикации по теме диссертации 123
Библиографический список
