Введение
ГЛАВА 1. Обзор методов формирования микроразмерных переходных отверстий МПП 13
1.1. Современное состояние в области технологии изготовления ПП 13
1.2. Аналитический обзор методов формирования микроразмерных переходных отверстий МПП
1.2.1. Механическое сверление 17
1.2.2. Лазерное сверление
1.3. Сравнение технологических методов механической и лазерной обработки МПП 36
1.4. Выводы по главе 1 40
ГЛАВА 2. Причины и закономерности развития увода оси сверла в ходе формирования микроразмерных отверстий МПП 43
2.1. Классификация причин возникновения увода оси сверла 43
2.2. Причины возникновения увода оси сверла в ходе сверления
2.2.1. Неоднородность обрабатываемых материалов ПП 52
2.2.2. Взаимосвязь скорости подачи и радиальной силы (изгиб) 58
2.2.3. Изгиб сверла под действием радиальной силы 60
2.2.4. Потеря устойчивости сверла в ходе обработки
2.3. Общая модель увода оси сверла 70
2.4. Выводы по главе 2 72
ГЛАВА 3. Определение и анализ погрешности расположения микроразмерных отверстий МПП 74
3.1. Постановка задач эксперимента
3.2. Оценка объема экспериментальных исследований 75
3.3. Описание исследуемых образцов 77
3.4. Описание схемы измерения 81
3.5. Описание методов исследования и оборудования, получение и обработка экспериментальных данных 82
3.6. Методика обработки данных 84
3.7. Анализ точности используемых методов и полученных результатов
3.7.1. Оценка точности полученных изображений 94
3.7.2. Оценка влияния разрешения сканера на точность определения координат центров отверстий на изображении. 98
3.7.3. Оценка повторяемости результаов сканирования 103
3.8. Выводы по главе 3 105
ГЛАВА 4. Исследование влияния конструкции мпп, величины осевой подачи и упрочняющего покрытия на величину погрешности расположения микроразмерных переходных отверстий 106
4.1. Оценка влияния величины осевой подачи на точность
расположения отверстий ПП и величину увода оси сверла 106
4.1.1. Оценка влияния величины осевой подачи на качество металлизации отверстия 109
4.2. Оценка влияния параметров покнструкции МПП на точность расположения отверстий и величину увода оси сверла 112
4.3. Оценка влияния твердосмазочного покрытия сверл на точность расположения отверстий ПП и величину увода оси 117
4.4. Выводы по главе 4 119
Общие выводы по работе 122
Список источников 125
